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KEYENCE基恩士推出VK-X100/X200系列形狀測量激光顯微系統

供稿：基恩士（中國）有限公司 2011/10/19 16:30:34
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       KEYENCE基恩士推出VK-X100/X200系列形狀測量激光顯微系統。

 

 

激光掃描顯微系統可以解決所有的課題
 

使用激光顯微系統則可全部簡單地實現


光學顯微鏡
光學顯微鏡
提升倍率后，難以對焦，分辨率不足。
SEM
SEM
前處理或樣本尺寸等的準備煩瑣，僅能以黑白色進行觀察。
粗糙度儀
粗糙度儀
不能夠實現一邊放大觀察，一邊對工件部位實施非破壞性的凹凸測量。
使用激光顯微系統則可全部簡單地實現

 
 
 
光學顯微鏡

 


有限的分辨率和放大倍數
有限的分辨率和放大倍數
光盤坑 (6000 倍)
景深淺
景深淺
刀尖 (1000 倍)
不支持可追溯性
不支持可追溯性
 
 
高分辨率，大景深觀察

 


高分辨率， 最大放大24000 倍
高分辨率， 最大放大24000 倍
光盤坑（6000 倍）
完全聚焦的清晰圖像
完全聚焦的清晰圖像
刀尖（1000 倍）
符合溯源性要求
符合溯源性要求
使用 VK 系列獲得的測量結果是高度可靠的測量數據，并且符合國家標準溯源性。
 
SEM

 


顏色不能確定，因為圖像是黑色和白色
顏色不能確定，因為圖像是黑色和白色
墨粉 (1000 倍)
準備與觀察需要大量時間
準備與觀察需要大量時間
 
樣本大小是受限制的
樣本大小是受限制的
由于受到樣本的大小或者樣本不適合在樣品室等原因的影響，觀察有時是不可能的。
 
仿佛彩色 SEM

 


16 bit 激光彩色觀察
16 bit 激光彩色觀察
墨粉（1000 倍）
放置并且測量，您可以在幾秒鐘內進行分
放置并且測量，您可以在幾秒鐘內進行分
 
各種樣品的測量
各種樣品的測量
可拆卸測量頭單元允許各種尺寸的樣品測量。可拆卸測量頭單元可以與其他設備整合并支持遠程操作。
 
粗糙度儀

 


由于接觸探針造成樣本刮傷
由于接觸探針造成樣本刮傷
鋁表面（200 倍）
在屏幕上水平凹槽。
難以測量目標
難以測量目標
用觸筆擊中目標的理想位置可能會產生一些問題，例如目標為螺紋頂。
分辨率受限于觸筆尖端直徑
分辨率受限于觸筆尖端直徑
無法測量粗糙度小于測量儀器的觸筆尖端的粗糙度的表面。
 
無損輪廓和粗糙度測量
 
 
 
 
 
 
 

 

全方位性質的清晰觀察

 

從光學觀察到類似于彩色 SEM 的高分辨率觀察
關于本產品的詳細內容，請使用右上方的圖標下載目錄后確認。

16 bit 激光彩色觀察
在大氣中以全方位性質的分辨率實現全焦觀察。
光學觀察
光學觀察
 
 
 
全焦觀察
全焦觀察
 
 
 
高分辨率激光 黑白觀察
高分辨率激光 黑白觀察
 
16 bit 激光彩色觀察
16 bit 激光彩色觀察

在大氣中以全方位性質的分辨率實現全焦觀察。
通過短波長激光全面掃描，能夠以光學顯微鏡無法實現的分辨率，按 200 至 24000 倍率* 實現全焦觀察。

* VK-X200 系列時
 
光學圖像
光學圖像
 
激光圖像 盤片坑（6000 倍）
激光圖像 盤片坑（6000 倍）

以類似于 SEM 的分辨率實現真彩觀察。
對于由激光獲取到的各像素均已正確對焦的高度的色彩信息，由 CCD 相機按每 １ 像素分別提取，再轉換成激光高分辨率圖像。
 
激光黑白圖像
激光黑白圖像
 
16 bit 激光彩色圖像墨粉（1000 倍）
16 bit 激光彩色圖像 墨粉（1000 倍）

可運行所有表面形狀測量

對于拍攝到的圖像可自由測量
關于本產品的詳細內容，請使用右上方的圖標下載目錄后確認。

“想測量高低差· 形狀實現數值化”
[剖面 ３D 測量]
高度· 寬度· 角度截面積測量
對測量屏幕上任意指定的直線或曲線的橫截面輪廓，都可進行“高度”、“寬度”、“橫截面”、“角度”、“R 值”等測量。
 
基板高度差高度·寬度測量（1000 倍）
基板高度差高度·寬度測量（1000 倍）
 
微攝鏡頭 R 測量（1000 倍）
微攝鏡頭 R 測量（1000 倍）

 
表面積· 體積測量
測量屏幕上任何指定區域的“體積”、“表面積”、“ 面積∶表面積之比”。
 
光學薄膜 (1000 倍)
光學薄膜 (1000 倍)
 
太陽能電池表面積測量（1000 倍）
太陽能電池表面積測量（1000 倍）

“想要將表面狀態的差異實現數值化”
[可以精確測量線粗糙度和面粗糙度]
線粗糙度測量
可以一邊觀察2D 或3D 圖像，一邊避開頂點或異物，測量目標部位的粗糙度。
 
“想要將表面狀態的差異實現數值化”

 
面粗糙度測量
從視覺上來講存在差異，那么差異究竟有多大呢? 可以測量面的粗糙度，通過數值確認平均化后的差異。

（例）功能性薄膜的暗紋（3000 倍）
樣本A: Ra 1.5 μm
樣本A: Ra 1.5 μm
 
樣本B: Ra 3.2 μm
樣本B: Ra 3.2 μm
 

透明薄膜測量內置“獨特的算法”
不僅實現膜厚測量﹐還可獲取最表面和背面的形狀。
可對觀察視野整個區域執行多層分析。可對已選的各層或多層進行 3D 圖像顯示、橫截面輪廓顯示，可測量任意位置的形狀、薄膜厚度。
 
透明薄膜測量內置“獨特的算法”

“想要一次性自動拍攝· 測量多個樣本”
[自動測量具備規則圖形的工件]
自動寬度· 高度測量
對于具備規則圖形的工件的寬度· 高度，按照設置條件自動測量。由于是自動測量，因此不會生成人員造成的誤差，可以在短時間內完成測量。
 
光致抗蝕圖形（6000倍）
光致抗蝕圖形（6000倍）
 
光學薄膜（1000 倍）
光學薄膜（1000 倍）

全自動測量

誰都可以實現和熟練人員一樣的測量
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通過融入長年專有經驗的 AI-Scan，僅需按下“ 測量開始”按鈕，便能得到符合樣本的最佳設置，實現全自動測量。
全自動測量
 

[世界首創] AI-Scan 3 個功能
單擊測量開始按鈕便可實現
 
1. AAG 功能
對受光組件的激光受光靈敏度運行 ２ 項最佳調整。對于有斜度的樣本或混合存在明暗的樣本也可正確測量。
* AAG=Advanced Auto Gain
傳統方式
傳統方式
 
 
 
AAG 功能
AAG 功能
金剛石工具（400 倍）
2. 自動上下限設置
對于樣本的上下限在整個畫面區域實現自動識別和設置，在上下限范圍之內運行掃描和測量。
鏡頭自動掃描
鏡頭自動掃描
 
識別畫面內的上下限, 自動設置為測量范圍。
識別畫面內的上下限, 自動設置為測量范圍。
 
 
 
3. 雙掃描功能
識別到未有效拍攝的部分時，會自動改變設置，運行二次拍攝，獲取正確的數據。
單掃描時
單掃描時
 
 
 
雙掃描后
雙掃描后
焊錫（200 倍）

廣視野的測量

通過 WIDE-Scan 簡單 · 高速地實現廣視野的測量
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課題 1
視野狹窄的話，無法明確正在觀察哪個部位。還想觀察周圍。
課題 1
 

高速高精度 WIDE-Scan 解決
使用 WIDE 的話則可一目了然，不會發生測量部位的錯誤。
想要提升倍率實現高精度的觀察· 測量時，有時會因視野狹窄而不明白正在觀察哪個部位。按照對應目標分辨率的倍率使用 WIDE-Scan 的話，則可簡單地獲取到廣視野的高分辨率 3D 圖像。之后對觀察部位也可做到一目了然。

課題 2
關于局部性的測量，會因拍攝部位不同而使數據生成偏差。
課題 2
 
目錄下載：
http://www.hzchechuang.cn/company/datum/2013091317241500001.htm


更多內容請訪問 基恩士（中國）有限公司（http://c.gongkong.com/?cid=44538)
新聞來源： http://china.keyence.com/GKVKX01

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