KEYENCE基恩士推出VK-X100/X200系列形狀測量激光顯微系統。
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激光掃描顯微系統可以解決所有的課題 |
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使用激光顯微系統則可全部簡單地實現 |
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全方位性質的清晰觀察 |
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從光學觀察到類似于彩色 SEM 的高分辨率觀察 |
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關于本產品的詳細內容,請使用右上方的圖標下載目錄后確認。 | |
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16 bit 激光彩色觀察 |
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在大氣中以全方位性質的分辨率實現全焦觀察。 |
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16 bit 激光彩色觀察 |
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在大氣中以全方位性質的分辨率實現全焦觀察。 |
通過短波長激光全面掃描,能夠以光學顯微鏡無法實現的分辨率,按 200 至 24000 倍率* 實現全焦觀察。 * VK-X200 系列時 |
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以類似于 SEM 的分辨率實現真彩觀察。 |
對于由激光獲取到的各像素均已正確對焦的高度的色彩信息,由 CCD 相機按每 1 像素分別提取,再轉換成激光高分辨率圖像。 |
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可運行所有表面形狀測量 |
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對于拍攝到的圖像可自由測量 |
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關于本產品的詳細內容,請使用右上方的圖標下載目錄后確認。 | |
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“想測量高低差· 形狀實現數值化” |
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[剖面 3D 測量] 高度· 寬度· 角度截面積測量 |
對測量屏幕上任意指定的直線或曲線的橫截面輪廓,都可進行“高度”、“寬度”、“橫截面”、“角度”、“R 值”等測量。 |
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表面積· 體積測量 |
測量屏幕上任何指定區域的“體積”、“表面積”、“ 面積∶表面積之比”。 |
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“想要將表面狀態的差異實現數值化” |
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[可以精確測量線粗糙度和面粗糙度] 線粗糙度測量 |
可以一邊觀察2D 或3D 圖像,一邊避開頂點或異物,測量目標部位的粗糙度。 |
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面粗糙度測量 |
從視覺上來講存在差異,那么差異究竟有多大呢? 可以測量面的粗糙度,通過數值確認平均化后的差異。 (例)功能性薄膜的暗紋(3000 倍) |
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透明薄膜測量內置“獨特的算法” |
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不僅實現膜厚測量﹐還可獲取最表面和背面的形狀。 |
可對觀察視野整個區域執行多層分析。可對已選的各層或多層進行 3D 圖像顯示、橫截面輪廓顯示,可測量任意位置的形狀、薄膜厚度。 |
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“想要一次性自動拍攝· 測量多個樣本” |
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[自動測量具備規則圖形的工件] 自動寬度· 高度測量 |
對于具備規則圖形的工件的寬度· 高度,按照設置條件自動測量。由于是自動測量,因此不會生成人員造成的誤差,可以在短時間內完成測量。 |
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全自動測量 |
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誰都可以實現和熟練人員一樣的測量 |
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通過融入長年專有經驗的 AI-Scan,僅需按下“ 測量開始”按鈕,便能得到符合樣本的最佳設置,實現全自動測量。 |
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[世界首創] AI-Scan 3 個功能 |
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單擊測量開始按鈕便可實現 |
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1. AAG 功能 |
對受光組件的激光受光靈敏度運行 2 項最佳調整。對于有斜度的樣本或混合存在明暗的樣本也可正確測量。 * AAG=Advanced Auto Gain |
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2. 自動上下限設置 |
對于樣本的上下限在整個畫面區域實現自動識別和設置,在上下限范圍之內運行掃描和測量。 |
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3. 雙掃描功能 |
識別到未有效拍攝的部分時,會自動改變設置,運行二次拍攝,獲取正確的數據。 |
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廣視野的測量 |
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通過 WIDE-Scan 簡單 · 高速地實現廣視野的測量 |
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課題 1 |
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視野狹窄的話,無法明確正在觀察哪個部位。還想觀察周圍。 |
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課題 2 |
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關于局部性的測量,會因拍攝部位不同而使數據生成偏差。 | |
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